Formtracer  Extreme (超級表面粗糙度/輪廓測量裝置)  CS-5000CNC/CS-H5000CNC

525系列-CNC形狀測量儀

日本三豐品牌  MITUTOYO  525-763-1  表面粗糙度測量儀

特點：

1、高精度測針型CNC表面測量儀可以同時進行表面粗糙度和形狀/輪廓的測量。

2、X1和Z2軸的*大驅動速度分別為40mm/s和200mm/s，可以高速定位，從而提高了多重輪廓/多工件測量的效率。

3、X1和Z1軸上裝有三豐激光全息光柵尺，從而可以實現高分辨率（X1軸分辨率：6.25nm,Z1軸分辨率：4nm/8nm）的輪廓/形狀測量、表面粗糙度的測量和批次測量。

4、Z1軸檢測器采用主動控制方式，減少Z1軸動態測力變化的同時擴展了測量范圍。

5、Z1軸檢測器集成了防碰撞**裝置，當儀器主體與工件或夾具發生碰撞時，檢測裝置可以自動停止工作。

6、帶有а軸工作臺的型號，可沿Y軸進行多工件定位，從而增加了多工件測量范圍。

7、提供易于操作的遙控箱，用戶可以通過這兩個操縱桿選擇合適的軸進行移動。在按鍵上標有易于理解的圖形顯示軸的選擇狀態。

8、通過USB端口與數據處理/分析裝置（選件）進行信息交換。

技術參數：

X1軸

測量范圍：200mm

分辨率：0.00625μm

檢測方法：激光全息光柵尺

驅動速度：*大40mm/s（CNC模式）  0-40mm/s（操縱桿控制模式）

測量速度：0.02-0.2mm/s(表面粗糙度)

0.02-2mm/s（形狀/輪廓）

測量方向：向前/向后

直線度： （0.1+0.0015L）μm 使用標準測針

         （0.2+0.0015L）μm 使用二倍長型測針

         （CS-H5000CNC）

指示精度（20℃）：±（0.3+0.002L）μm 

指示精度（20℃）：±（0.16+0.001L）μm  L為驅動長度（mm）            

Z1軸：

測量范圍： 12mm(使用標準測針)   24mm(使用二倍長型測針)

分辨率：0.004μm（使用標準測針）  0.008μm（使用二倍長型測針）  0.001μm（使用標準測針）

(CS-H5000CNC)    0.002μm（使用二倍長型測針）  (CS-H5000CNC)

測針上/下運作：弧形運動

檢測方法：激光全息光柵尺

指示精度（20℃）：±（0.3+I0.02HI）μm    

指示精度（20℃）：±（0.07+I0.02HI）μm    H為測量高度（mm）

測力：4mN（使用標準測針）   0.75mN（使用二倍長型測針）

跟蹤角度：向上60°，向下60°（取決于表面粗糙度）

針尖（球型測針）：金剛石，角度：40°，半徑5μm （半徑：0.25mm，藍寶石）

測針方向：向下

Z2軸（立柱）

測量范圍： 300mm

分辨率：0.05μm

檢測方法：反射型線性編碼器

驅動速度：*大200mm/s（CNC模式）   0-50mm/s（操縱桿控制模式）

基座尺寸：（W×D）:750×600mm

基座材料：花崗巖

Y軸*

測量范圍：200mm

分辨率：0.05μm

驅動速度：*大200mm/s（CNC模式）   0-50mm/s（操縱桿控制模式）

工件*大承重：20Kg

直線度：0.5μm/200mm

指示精度（20℃）：±（2+2L/200）μm    L任意兩點間的長度（mm）

尺寸：（W×D×H）:800×620×1000mm(800×620×1200mm:高立柱型)

重量：240kg（250kg：高立柱型）

*紅色為CS-H5000CNC的數據

軟件選件：

FORMTRACEPAK  V5

使用該軟件可以控制馬達驅動的Y軸工作臺和旋轉臺選件，從而實現自動測量。使用該軟件還可以進行輪廓評估，這項評估包括對級差，角度，深度，面積和其他基于表面粗糙度數據的特性進行分析。另外，還可以通過設置打印格式建立原始檢測證書，以適應不同的需求。

性能參數：

*根據不同的交流電源電纜及測量裝置，可選不同的選件套裝。12AAH838（公制型，歐盟），12AAH839(公制型，BS),12AAH843（公制型，中國），12AAH844（公制型，EK），12AAH840(英制型，UL/CSA),12AAH841(英制型，歐盟)，12AAH842(英制型，BS)，12AAH845(英制型，中國)

*根據不同的交流電源電纜及測量裝置，可選不同的選件套裝。12AAH847（公制型，UL/CSA），12AAH848(公制型，歐盟),12AAH849（公制型，BS），12AAH853（公制型，中國），12AAH854(公制型，EK),12AAH850(英制型，UL/CSA)，12AAH851(英制型，歐盟)，12AAH852(英制型，BS)，12AAH855（英制型，中國）

測針：